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제 25회 반도체 대전 SEDEX

October 25 ~ 27 / COEX SEOUL

2023 참가업체 디렉토리

마이다스시스템㈜

Midas System Co., Ltd.

Booth No.C125
  • CEO이곤철 / Gon Cheol Lee
  • ADDRESS대전광역시 유성구 테크노2로 120-1 / 120-1, Techno 2-ro, Yuseong-gu, Daejeon, Korea
  • CONTACTTel. +82-42-936-7620 / Fax. +82-42-936-7623 / URL. www.aligner.co.kr
  • 제조품목

    1. Mask Aligner and Exposure system 

    마스크 얼라이너는 photo-lithography 공정에 사용되며, 

    패턴이 그려진 포토마스크와 기판을 정확하게 위치 정렬하는 기능을 가진 장비입니다.

     

    * Specification

    1. Type : Manual, Semi auto, Full auto
    2. Light Source : UV Mercury lamp, UV LED
    3. Resolution : ≤1 um

    4. Alignment accuracy : ≤1 um

     

     


    2. Spin coater / 스핀코터

    Spin Coater 는 기판 위에 박막을 만들기 위해 사용하며, 

    기판 위에 코팅할 용액을 떨어뜨려 주고 회전을 통해 기판 전 표면에 고르게 코팅하는 장비입니다.

     

    * Specification

    1. Type : Manual, Auto
    2. Spin Speed : Max. 7,000 rpm

    3. Acceleration : Variable Time (0.1 sec step)

    4. Programble Coating System : 50 steps, 50 recipes (Save & Load) 


  • 회사소개

    마이다스시스템㈜은 반도체, MEMS, 바이오 소자, 나노기술 관련 연구소 또는 기업체에서 필요한 마스크 정렬 노광 장치(Mask Aligner)와 스핀코터(Spin Coater) 장비를 개발, 생산하고 있습니다. Mask Aligner의 경우 국내 최초로 개발하여 상품화하였으며, 다양한 분야에 응용할 수 있어 반도체 연구 및 생산, MEMS 공정 연구 및 MEMS 응용 상품 생산, 바이오칩 연구 및 나노 기술의 연구분야에 활용되고 있습니다. 마이다스시스템㈜은 국내외 기업 및 연구소 수요를 위해 응용분야에 적합한 맞춤식 설계로 장비를 생산하고 있으며, 다년간의 공정 및 장비 제작 경험을 바탕으로 고객님들의 연구와 생산성 향상을 위해 최선을 다하는 기업이 되도록 노력하겠습니다.


    MIDAS SYSTEM Co., Ltd. develops and produces Mask Aligner and Spin Coater equipment requird by laboratories and companies related semi-conductor, MEMS, Bio element and Nano Technologies. As for the mask aligner for wafer, we led the first development and commercialization in Korea, and continued to make up for the technologies in order to strengthen the basis as a technology centered company. Also the mask aligner for wafer is applicable for various fields and at present utilized in board fields such as the research and production of semi conductor, the research on the MEMS process and the production from MEMS applications, researched on bio chips and Nano technologies. 

  • 온라인 상담스케쥴

    반도체대전에 대한 안내
    날짜/시간 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00
    10월 25일
    10월 26일
    10월 27일
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